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0519-81580101江蘇鵬舉半導體設備技術有限公司 |
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| 江蘇鵬舉半導體設備技術有限公司由江蘇省產(chǎn)業(yè)技術研究院，南通創(chuàng)新區(qū)和海歸團隊共同投資成立。是一家專注于半導體關鍵組件及特種工藝設備的高新技術公司，集設計、研發(fā)、制造、銷售及工藝技術支持服務于一體的綜合解決方案供應商。 公司集聚國內(nèi)外半導體領域技術專家，來自清華大學，美國Bell Lab貝爾實驗室，英特爾，海力士等資深半導體人士領銜，自主研發(fā)生產(chǎn)國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)所需的“卡脖子”關鍵組件及工藝設備。目前主要產(chǎn)品包括高真空管路、腔室設計;柵網(wǎng);離子源；研發(fā)型、產(chǎn)業(yè)化型原子層沉積（ALD）；研發(fā)型原子層刻蝕（ALE）；HF/XeF2刻蝕機/離子束刻蝕IBE/沉積設備IBD等，廣泛應用于IC 芯片、MEMS、LED、光通信、強激光、深紫外、磁存儲等器件的生產(chǎn)。 |
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